Detecção da espessura e da planicidade de substratos de vidro para semicondutores, imagem de capa do caso de aplicação da Liiyi Technology

Inspeção da espessura e da planicidade do substrato de vidro para semicondutores

Os substratos de vidro são amplamente utilizados em aplicações avançadas de embalagem e em semicondutores relacionados a displays, e sua espessura e morfologia afetam diretamente o rendimento do processo subsequente. A LightE utiliza uma solução de medição óptica sem contato para realizar a detecção de alta precisão da espessura e da planicidade dos substratos de vidro, adequada para materiais altamente transparentes e altamente reflexivos.
Medição de alta precisão da espessura do wafer e do TTV, imagem de capa do caso de aplicação da Liiyi Technology

Medição de alta precisão da espessura e do TTV de wafers

No processo de fabricação e afinamento das bolachas, a espessura total da bolacha e a TTV (Variação Total de Espessura) são parâmetros-chave que influenciam o alinhamento da fotolitografia e o rendimento da embalagem. A medição por contato tradicional é ineficiente e apresenta risco de arranhões na superfície da bolacha. A LightE utiliza uma solução de medição óptica sem contato para realizar varreduras de altura de alta precisão em […]
Imagem de capa do caso de aplicação da Liiyi Technology para a detecção online da ondulação de wafers

Detecção online da curvatura de wafers

As bolachas tendem a apresentar deformações devido ao estresse térmico e às diferenças de material durante o processo de fabricação, o que afeta os subsequentes processos de manuseio, exposição e laminação. É difícil detectar tais anomalias a tempo utilizando métodos tradicionais de inspeção pontual. A LightE emprega uma solução de medição de deslocamento de alta precisão para realizar varreduras sem contato do perfil da superfície da bolacha, obtendo rapidamente […]
Imagem de capa do caso de aplicação da Liiyi Technology para a detecção de alta precisão da planicidade da superfície de wafers

Inspeção de alta precisão da planicidade da superfície do wafer

A planicidade da superfície da bolacha afeta diretamente a precisão do foco da fotolitografia e a consistência dos dispositivos, e pequenas alterações na topografia também podem causar defeitos no processo. A LightE utiliza uma solução de medição sem contato de alta resolução para escanear com precisão a superfície da bolacha, permitindo a detecção estável da planicidade e da topografia local, fornecendo suporte de dados confiável para a otimização do processo.
Imagem de capa do caso de aplicação da Liiyi Technology para a medição da espessura de filmes semicondutores multicamadas

Medição da espessura de filmes multicamadas de semicondutores

Dispositivos semicondutores geralmente contêm múltiplas camadas de filmes dielétricos e filmes metálicos. A espessura de cada camada afeta diretamente o desempenho elétrico e a confiabilidade. Os métodos tradicionais têm dificuldade em distinguir estruturas multicamadas ou apresentam falta de reprodutibilidade. O LightE utiliza a solução de medição por Interferômetro de Luz Branca Pontual para realizar a medição sem contato da espessura de filmes multicamadas, auxiliando os clientes […]
Detecção da uniformidade da espessura após o processo de redução de espessura de wafers, imagem de capa do caso de aplicação da Liiyi Technology

Inspeção da uniformidade da espessura após o processo de afinação do wafer

A espessura irregular após o afinamento da bolacha provocará concentração de tensões no processo subsequente de embalagem e aumentará o risco de fragmentação. O LightE emprega uma solução de medição de espessura sem contato para realizar medições multiponto ou por varredura em bolachas afinadas, permitindo avaliar rapidamente a uniformidade da espessura e ajudar os clientes a melhorar a estabilidade do processo de afinamento.
Detecção da altura e da coplanaridade das esferas de solda em embalagens BGA, imagem de capa do caso de aplicação da Liiyi Technology

Detecção da altura e da coplanaridade das esferas de solda em pacotes BGA

A altura e a coplanaridade das esferas de solda nos pacotes BGA afetam diretamente a confiabilidade da soldagem. Pequenas diferenças de altura também podem causar juntas de solda fria ou curtos-circuitos. O LightE utiliza uma solução de medição de altura de alta precisão para realizar a detecção sem contato das esferas de solda, obtendo com exatidão dados sobre altura e coplanaridade e garantindo a qualidade da embalagem.