Medição da espessura de filmes multicamadas de semicondutores

Os dispositivos semicondutores geralmente contêm múltiplas camadas de filmes dielétricos e filmes metálicos. A espessura de cada camada afeta diretamente o desempenho elétrico e a confiabilidade. Os métodos tradicionais têm dificuldade em distinguir estruturas multicamadas ou apresentam falta de reprodutibilidade. O LightE utiliza a solução de medição por Interferômetro de Luz Branca Pontual para realizar a medição sem contato da espessura de filmes multicamadas, ajudando os clientes a controlar com precisão o processo de deposição de filmes.