Medição da altura da microestrutura da superfície do wafer

Em processos avançados, a superfície do wafer apresenta um grande número de microestruturas, e sua alta precisão exerce um impacto significativo no desempenho dos dispositivos. A LightE utiliza uma solução de medição sem contato de alta resolução para realizar medições estáveis da altura das microestruturas, atendendo aos requisitos de precisão na escala nanométrica.