Necesidades de inspección en la industria de semiconductores
Con el rápido desarrollo de la tecnología de la información moderna, la industria de los semiconductores se ha convertido en uno de los pilares fundamentales de la manufactura avanzada. Cada etapa del proceso requiere una precisión y estabilidad extremadamente altas, lo que impone exigencias estrictas a las tecnologías de medición.
Los sensores confocales cromáticos están emergiendo como herramientas de medición de alta precisión y sin contacto para la fabricación de semiconductores, apoyando la monitorización de procesos, el control de calidad y la mejora del rendimiento.
Principio de medición
Un sistema confocal cromático utiliza una fuente de luz de banda ancha y ópticas dispersivas para enfocar diferentes longitudes de onda en distintas posiciones a lo largo del eje de medición. La longitud de onda reflejada por la superficie objetivo corresponde a una distancia específica, lo que permite al sistema calcular el desplazamiento con gran precisión.
Dado que este método es óptico y sin contacto, resulta especialmente adecuado para obleas delicadas, películas reflectantes, sustratos transparentes y microestructuras donde la medición por contacto podría causar daños o inestabilidad.
Entre las aplicaciones típicas destacan la medición del espesor y la TTV (Total Thickness Variation) de las obleas, la inspección de la deformación de las obleas, la detección de la planicidad superficial, la medición del espesor de películas multicapa, la coplanaridad de las bolas de soldadura, la altura de los paquetes, la uniformidad de la altura de los pads y la medición de la altura de microestructuras.
La tecnología confocal cromática de LightE ayuda a los clientes del sector de los semiconductores a mejorar la fiabilidad de las mediciones, reducir los riesgos de inspección y establecer un control de procesos más estable para la manufactura avanzada.
Sitio web oficial: www.lightegroup.com
Línea de consulta: 0755-28263345