Les besoins en inspection des semi-conducteurs
Avec le développement rapide des technologies de l’information modernes, l’industrie des semi-conducteurs est devenue l’un des piliers fondamentaux de la fabrication avancée. Chaque étape du processus exige une précision et une stabilité extrêmement élevées, imposant des exigences strictes en matière de technologie de mesure.
Les capteurs confocaux chromatiques émergent comme des outils de mesure sans contact, d’une grande précision, pour la fabrication des semi-conducteurs, soutenant la surveillance des procédés, le contrôle qualité et l’amélioration du rendement.
Principe de mesure
Un système confocal chromatique utilise une source lumineuse à large bande et une optique dispersive pour focaliser les différentes longueurs d’onde à des positions distinctes le long de l’axe de mesure. La longueur d’onde réfléchie par la surface cible correspond à une distance spécifique, ce qui permet au système de calculer le déplacement avec une grande précision.
Étant donné que cette méthode est optique et sans contact, elle convient particulièrement aux plaquettes fragiles, aux films réfléchissants, aux substrats transparents ainsi qu’aux microstructures où une mesure par contact pourrait entraîner des dommages ou une instabilité.
Applications dans le domaine des semi-conducteurs
Les applications typiques incluent la mesure de l’épaisseur et de la TTV des plaquettes, l’inspection de la gauchissement des plaquettes, la détection de la planéité de surface, la mesure de l’épaisseur des couches multiples, la coplanarité des billes de soudure, la hauteur des boîtiers, la régularité de la hauteur des pads, ainsi que la mesure de la hauteur des microstructures.
La technologie confocale chromatique de LightE aide les clients du secteur des semi-conducteurs à améliorer la fiabilité des mesures, à réduire les risques d’inspection et à mettre en place un contrôle de processus plus stable pour la fabrication avancée.
