Necessidades de Inspeção em Semicondutores
Com o rápido desenvolvimento da tecnologia da informação moderna, a indústria de semicondutores tornou-se um dos pilares centrais da manufatura avançada. Cada etapa do processo exige precisão e estabilidade extremamente elevadas, impondo exigências rigorosas à tecnologia de medição.
Sensores confocais cromáticos estão emergindo como ferramentas de medição de alta precisão e sem contato para a fabricação de semicondutores, apoiando o monitoramento de processos, o controle de qualidade e a melhoria do rendimento.
Princípio de Medição
Um sistema confocal cromático utiliza uma fonte de luz de banda larga e óptica dispersiva para focalizar diferentes comprimentos de onda em posições distintas ao longo do eixo de medição. O comprimento de onda refletido pela superfície alvo corresponde a uma distância específica, permitindo ao sistema calcular o deslocamento com alta precisão.
Como o método é óptico e sem contato, é especialmente adequado para wafers delicados, filmes reflexivos, substratos transparentes e microestruturas onde a medição por contato poderia causar danos ou instabilidade.
Aplicações típicas incluem a medição da espessura e TTV de wafers, inspeção de empenamento de wafers, detecção de planicidade superficial, medição da espessura de filmes multicamadas, coplanaridade de bolinhas de solda, altura de pacotes, consistência da altura de pads e medição da altura de microestruturas.
A tecnologia confocal cromática da LightE ajuda os clientes do setor de semicondutores a melhorar a confiabilidade das medições, reduzir os riscos de inspeção e estabelecer um controle de processo mais estável para a manufatura avançada.
