El alabeo excesivo de la oblea y la variación total del espesor (TTV) provocarán una disminución en los rendimientos posteriores de texturización, difusión e impresión.
LightE utiliza tecnología de escaneo 3D para analizar el contorno superficial de la oblea de silicio y obtener datos sobre la distribución global de alturas, permitiendo así una evaluación cuantitativa del alabeo y de la TTV.
