Detecção da ondulação e do TTV das placas de silício

Distorção da bolacha de silício e detecção de TTV

A ondulação excessiva da bolacha e a variação total de espessura (TTV) levarão a uma diminuição nos rendimentos subsequentes de texturização, difusão e impressão.

LightE utiliza tecnologia de escaneamento 3D para analisar o contorno superficial da bolacha de silício, obtendo dados sobre a distribuição geral de altura, permitindo uma avaliação quantitativa da ondulação e da TTV.