Medición de alta precisión del espesor de la oblea y del TTV

En el proceso de fabricación y adelgazamiento de obleas, el espesor total de la oblea y la TTV (Variación Total del Espesor) son parámetros clave que afectan la alineación en la fotolitografía y el rendimiento del empaquetado. La medición por contacto tradicional es ineficiente y conlleva el riesgo de rayar la superficie de la oblea. LightE utiliza una solución de medición óptica sin contacto para realizar un escaneo de altura de alta precisión sobre la superficie de la oblea, logrando así una medición estable del espesor de la oblea y de la TTV, garantizando la exactitud de las mediciones mientras se evita dañar la oblea.