Mesure haute précision de l’épaisseur des plaquettes et de la TTV (Total Thickness Variation)

Dans le processus de fabrication et d’amincissement des plaquettes, l’épaisseur totale de la plaquette ainsi que la TTV (Variation Totale d’Épaisseur) constituent des paramètres clés qui influencent l’alignement en lithographie et le rendement du conditionnement. La mesure par contact traditionnelle est peu efficace et présente un risque de rayure de la surface de la plaquette. LightE utilise une solution de mesure optique sans contact pour réaliser un scan de hauteur haute précision sur la surface de la plaquette, permettant ainsi une mesure stable de l’épaisseur de la plaquette et de la TTV, garantissant la précision des mesures tout en évitant d’endommager la plaquette.