Medición del espesor de películas multicapa en semiconductores

Los dispositivos semiconductores suelen contener múltiples capas de películas dieléctricas y películas metálicas. El espesor de cada capa afecta directamente al rendimiento eléctrico y a la fiabilidad. Los métodos tradicionales tienen dificultades para distinguir estructuras multicapa o carecen de reproducibilidad. LightE utiliza la solución de medición con Interferómetro de Luz Blanca Puntual para realizar mediciones sin contacto del espesor de películas multicapa, ayudando a los clientes a controlar con precisión el proceso de deposición de películas.