Mesure de l'épaisseur des films semi-conducteurs multicouches

Les dispositifs semi-conducteurs comportent généralement plusieurs couches de films diélectriques et de films métalliques. L’épaisseur de chaque couche influence directement les performances électriques et la fiabilité. Les méthodes traditionnelles peinent à distinguer les structures multicouches ou manquent de reproductibilité. LightE utilise la solution de mesure par interféromètre à lumière blanche ponctuelle pour réaliser une mesure sans contact de l’épaisseur des films multicouches, aidant ainsi les clients à maîtriser avec précision le processus de dépôt des couches.