Medición de la altura de la microestructura superficial de la oblea

En procesos avanzados, la superficie de la oblea presenta un gran número de microestructuras, y su alta precisión influye significativamente en el rendimiento del dispositivo. LightE utiliza una solución de medición sin contacto de alta resolución para lograr mediciones estables de la altura de las microestructuras y cumplir con requisitos de precisión a nivel nanométrico.