Mesure de la hauteur de la microstructure de surface des plaquettes

Dans les procédés avancés, la surface des plaquettes comporte un grand nombre de microstructures, dont la haute précision influence considérablement les performances des dispositifs. LightE utilise une solution de mesure sans contact haute résolution pour assurer une mesure stable de la hauteur des microstructures et répondre aux exigences d’exactitude au niveau nanométrique.