A espessura da camada funcional depositada em baterias de filme fino tem um impacto significativo no desempenho elétrico, sendo necessário um controle de espessura do filme com alta precisão.
LightE utiliza tecnologia de medição de espessura de filme de alta precisão para detectar espessuras em escala micro e nanométrica das camadas depositadas, sendo adequada para P&D e monitoramento de processos.










