Die Dicke der funktionellen Abscheidungsschicht in Dünnschichtbatterien hat einen erheblichen Einfluss auf die elektrischen Eigenschaften, weshalb eine hochpräzise Dickenkontrolle erforderlich ist.
LightE setzt eine hochpräzise Technologie zur Messung der Schichtdicke ein, um die Dicke abgeschiedener Schichten im Mikro- und Nanometerbereich zu ermitteln; diese eignet sich sowohl für Forschung und Entwicklung als auch für die Prozessüberwachung.
