L’épaisseur de la couche de dépôt fonctionnelle dans les batteries à couches minces a un impact significatif sur les performances électriques, et une régulation de l’épaisseur de film d’une grande précision est nécessaire.
LightE utilise une technologie de mesure d’épaisseur de film haute précision pour détecter l’épaisseur des films déposés à l’échelle micro- et nanométrique, adaptée à la recherche et au développement ainsi qu’à la surveillance des procédés.
