A espessura do filme tende a apresentar instabilidade nas áreas inicial e final do revestimento, o que é difícil de detectar a tempo por meio das inspeções aleatórias tradicionais.
LightE utiliza tecnologia de medição de espessura de filme de alta precisão para medir a espessura do filme em alta resolução em áreas locais, auxiliando na otimização do processo.
