Die Schichtdicke neigt in den Anfangs- und Endbereichen der Beschichtung zu Instabilitäten, die durch herkömmliche Stichprobenprüfungen nur schwer rechtzeitig erkannt werden können.
LightE setzt hochpräzise Technologien zur Schichtdickenmessung ein, um die Schichtdicke in lokalen Bereichen mit hoher Auflösung zu messen und so die Prozessoptimierung zu unterstützen.
