L’épaisseur du film présente une instabilité dans les zones de début et de fin du revêtement, ce qui est difficile à détecter à temps par des contrôles aléatoires traditionnels.
LightE utilise une technologie de mesure d’épaisseur de film haute précision pour mesurer l’épaisseur du film en haute résolution sur des zones localisées, afin d’aider à l’optimisation des procédés.
