Contrôle de l’épaisseur et de la planéité du substrat en verre pour semi-conducteurs

Les substrats en verre sont largement utilisés dans les applications avancées d’emballage et de semi-conducteurs liées aux écrans, et leur épaisseur ainsi que leur morphologie influencent directement le rendement des procédés ultérieurs. LightE utilise une solution de mesure optique sans contact pour réaliser une détection de haute précision de l’épaisseur et de la planéité des substrats en verre, adaptée aux matériaux très transparents et fortement réfléchissants.