Detección en línea de la deformación de la oblea

Las obleas tienden a deformarse debido al estrés térmico y a las diferencias materiales durante el proceso de fabricación, lo que afecta los siguientes pasos de manipulación, exposición y laminación. Resulta difícil detectar estas anomalías a tiempo utilizando los métodos tradicionales de inspección puntual. LightE emplea una solución de medición de desplazamiento de alta precisión para realizar un escaneo sin contacto del perfil superficial de la oblea, obtener rápidamente datos sobre la deformación y ayudar a los clientes a ajustar oportunamente los parámetros del proceso.