Inspección de alta precisión de la planicidad superficial de la oblea

La planicidad de la superficie de la oblea afecta directamente la precisión del enfoque en la fotolitografía y la consistencia de los dispositivos, y pequeños cambios en la topografía también pueden provocar defectos en el proceso. LightE utiliza una solución de medición sin contacto de alta resolución para escanear con precisión la superficie de la oblea, logrando una detección estable de la planicidad y la topografía local, lo que proporciona un soporte de datos confiable para la optimización del proceso.