Inspection haute précision de la planéité de la surface des plaquettes

La planéité de la surface des plaquettes influence directement la précision du focus en photolithographie ainsi que la cohérence des dispositifs, et de faibles variations de topographie peuvent également entraîner des défauts de procédé. LightE utilise une solution de mesure sans contact haute résolution pour scanner avec précision la surface des plaquettes, assurant ainsi une détection fiable de la planéité et de la topographie locale, et fournissant une base de données solide pour l’optimisation des procédés.