Détection en ligne de la déformation des plaquettes

Les plaquettes sont sujettes à la déformation due aux contraintes thermiques et aux différences de matériaux au cours du processus de fabrication, ce qui impacte les étapes ultérieures de manutention, d’exposition et de laminage. Il est difficile de détecter ces anomalies à temps avec les méthodes traditionnelles d’inspection ponctuelle. LightE utilise une solution de mesure de déplacement haute précision pour réaliser un scan sans contact du profil de surface des plaquettes, obtenir rapidement les données de gauchissement et aider les clients à ajuster en temps voulu les paramètres du procédé.