Principio confocal cromático
Un sensor de desplazamiento confocal cromático emite luz de banda ancha a través de un sistema óptico dispersivo. Las diferentes longitudes de onda enfocan en posiciones distintas dentro del rango de medición, y cada longitud de onda corresponde a un valor específico de distancia.
Cuando la luz alcanza la superficie objetivo y se refleja, únicamente la longitud de onda que cumple la condición confocal atraviesa el orificio estenopeico y es detectada por el espectrómetro. A continuación, el controlador calcula la distancia a partir de la longitud de onda focal detectada.
Medición interferométrica del espesor
La medición interferométrica se basa en el análisis espectral de las señales de interferencia de luz blanca. Es un concepto fundamental en instrumentos de inspección óptica, incluyendo sensores confocales cromáticos y otros sistemas de medición de espesor de alta precisión.
Al analizar la señal de interferencia observada por el espectrómetro, el sistema puede medir la diferencia de camino óptico entre las interfaces y calcular el espacio de aire o el espesor de la muestra.
Modos de medición
En aplicaciones prácticas, los sistemas confocales cromáticos pueden realizar mediciones de altura, medición de espesor por una sola cara, medición de espesor opuesto y análisis de espesores multicapa, según la configuración del sensor y las propiedades del material.
Estos modos de medición hacen que la tecnología confocal cromática sea adecuada para la inspección de vidrio, películas, recubrimientos, semiconductores, baterías y componentes de precisión, donde se requieren alta resolución y medición sin contacto.