Medição de alta precisão da altura de microestruturas em comunicações ópticas

Comunicação óptica: medição de altíssima precisão de pequenas estruturas

Com o desenvolvimento da miniaturização dos dispositivos de comunicação óptica, as exigências por alta precisão em estruturas pequenas vêm aumentando constantemente, e os métodos tradicionais de medição têm dificuldade em atender a essa demanda. A LightE utiliza uma solução de medição sem contato de alta resolução para realizar medições estáveis da altura de estruturas pequenas e atender a cenários de aplicação de alta precisão.