Online-Messung der Siliziumwafer-Dicke

Die Dicke des Siliziumwafers beeinflusst direkt die Umwandlungseffizienz der Solarzelle sowie deren mechanische Festigkeit. Die herkömmliche Kontaktmessung birgt das Risiko von Schmutzpartikeln und lässt sich nur schwer an Hochgeschwindigkeits-Fertigungslinien anpassen.