{"id":1659,"date":"2024-11-01T00:00:00","date_gmt":"2024-10-31T16:00:00","guid":{"rendered":"https:\/\/lighte.gongjionline.cn\/lighte-show-17-330\/"},"modified":"2026-07-16T14:51:34","modified_gmt":"2026-07-16T06:51:34","slug":"chromatic-confocal-sensor-technology-semiconductor-inspection","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.lightegroup.com\/fr\/chromatic-confocal-sensor-technology-semiconductor-inspection\/","title":{"rendered":"Pourquoi la technologie des capteurs confocaux chromatiques de LightE est essentielle pour l\u2019inspection des semi-conducteurs"},"content":{"rendered":"

Besoins en inspection des semi-conducteurs<\/h2>\n

Avec le d\u00e9veloppement rapide des technologies modernes de l\u2019information, l\u2019industrie des semi-conducteurs est devenue l\u2019un des piliers centraux de la fabrication avanc\u00e9e. Chaque \u00e9tape du processus exige une pr\u00e9cision et une stabilit\u00e9 extr\u00eamement \u00e9lev\u00e9es, imposant des exigences strictes en mati\u00e8re de technologie de mesure.<\/p>\n

Les capteurs confocaux chromatiques \u00e9mergent comme des outils de mesure sans contact, d\u2019une grande pr\u00e9cision, destin\u00e9s \u00e0 la fabrication des semi-conducteurs, soutenant la surveillance des proc\u00e9d\u00e9s, le contr\u00f4le qualit\u00e9 et l\u2019am\u00e9lioration du rendement.<\/p>\n

\"Pourquoi<\/figure>\n
\"Pourquoi<\/figure>\n

Principe de mesure<\/h2>\n

Un syst\u00e8me confocal chromatique utilise une source lumineuse \u00e0 large bande et une optique dispersive pour focaliser diff\u00e9rentes longueurs d\u2019onde \u00e0 des positions distinctes le long de l\u2019axe de mesure. La longueur d\u2019onde r\u00e9fl\u00e9chie par la surface cible correspond \u00e0 une distance sp\u00e9cifique, ce qui permet au syst\u00e8me de calculer le d\u00e9placement avec une grande pr\u00e9cision.<\/p>\n

Du fait que cette m\u00e9thode est optique et sans contact, elle convient particuli\u00e8rement aux plaquettes fragiles, aux films r\u00e9fl\u00e9chissants, aux substrats transparents ainsi qu\u2019aux microstructures o\u00f9 une mesure par contact pourrait entra\u00eener des dommages ou une instabilit\u00e9.<\/p>\n

\"Pourquoi<\/figure>\n

Applications dans le domaine des semi-conducteurs<\/h2>\n

Les applications typiques incluent la mesure de l\u2019\u00e9paisseur des plaquettes et de leur TTV, l\u2019inspection de la gauchissement des plaquettes, la d\u00e9tection de la plan\u00e9it\u00e9 de surface, la mesure de l\u2019\u00e9paisseur de couches multiples, la coplanarit\u00e9 des billes de soudure, la hauteur des bo\u00eetiers, la r\u00e9gularit\u00e9 de la hauteur des pads, ainsi que la mesure de la hauteur des microstructures.<\/p>\n

La technologie confocale chromatique de LightE aide les clients du secteur des semi-conducteurs \u00e0 am\u00e9liorer la fiabilit\u00e9 des mesures, \u00e0 r\u00e9duire les risques d\u2019inspection et \u00e0 mettre en place un contr\u00f4le de processus plus stable pour la fabrication avanc\u00e9e.<\/p>\n

\"Pourquoi<\/figure>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

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