{"id":749,"date":"2026-03-17T15:27:32","date_gmt":"2026-03-17T07:27:32","guid":{"rendered":"https:\/\/lighte.gongjionline.cn\/cus_case\/jing-yuan-hou-du-yu-ttv-gao-jing-du-ce-liang\/"},"modified":"2026-07-14T17:03:55","modified_gmt":"2026-07-14T09:03:55","slug":"wafer-thickness-ttv-measurement","status":"publish","type":"case","link":"https:\/\/www.lightegroup.com\/de\/case\/wafer-thickness-ttv-measurement\/","title":{"rendered":"Hochpr\u00e4zise Messung der Waferdicke und des TTV-Werts"},"content":{"rendered":"<p>Im Wafer-Herstellungs- und D\u00fcnnschichtprozess sind die Gesamtdicke des Wafers sowie die TTV (Total Thickness Variation) entscheidende Parameter, die die Ausrichtung bei der Photolithografie und die Verpackungsausbeute beeinflussen. Die herk\u00f6mmliche Kontaktmessung ist ineffizient und birgt das Risiko, die Waferoberfl\u00e4che zu zerkratzen. LightE setzt eine ber\u00fchrungslose optische Messl\u00f6sung ein, um pr\u00e4zise H\u00f6henscans der Waferoberfl\u00e4che durchzuf\u00fchren und so eine stabile Messung der Waferdicke sowie der TTV zu gew\u00e4hrleisten \u2013 dabei wird die Messgenauigkeit sichergestellt, w\u00e4hrend gleichzeitig eine Besch\u00e4digung des Wafers vermieden wird.<\/p>","protected":false},"featured_media":1313,"template":"","meta":{"_acf_changed":false,"_seopress_robots_primary_cat":"","_seopress_titles_title":"High-precision measurement of wafer thickness and TTV - LightE Application","_seopress_titles_desc":"In the wafer manufacturing and thinning process, the overall thickness of the wafer and TTV (Total Thickness Variation) are key parameters that affect pho...","_seopress_robots_index":"","_seopress_analysis_target_kw":""},"class_list":["post-749","case","type-case","status-publish","has-post-thumbnail","hentry"],"acf":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.lightegroup.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/case\/749","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.lightegroup.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/case"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.lightegroup.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/types\/case"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.lightegroup.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media\/1313"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.lightegroup.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=749"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}